演講主題：Aerotech半導(dǎo)體行業(yè)檢測(cè)應(yīng)用方案信息分享

演講摘要：

Aerotech專注于精密運(yùn)動(dòng)控制領(lǐng)域50+年，產(chǎn)品涵蓋高性能驅(qū)控、高精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)及定制化整機(jī)設(shè)備。在進(jìn)入中國(guó)市場(chǎng)近10年時(shí)間，產(chǎn)品廣泛服務(wù)于半導(dǎo)體、光通訊、顯示及消費(fèi)電子領(lǐng)域及行業(yè)。在半導(dǎo)體領(lǐng)域，驅(qū)控產(chǎn)品及精密平臺(tái)得到廣泛應(yīng)用。本次分享主要涵蓋Aerotech在半導(dǎo)體行業(yè)中檢測(cè)應(yīng)用方案信息。

嘉賓簡(jiǎn)介：

唐松 Aerotech中國(guó)銷售工程師，負(fù)責(zé)業(yè)務(wù)范圍涵蓋半導(dǎo)體、光通訊、測(cè)試測(cè)量等行業(yè)方向。

公司介紹：

Aerotech始建于1970年美國(guó)匹茲堡，公司致力于運(yùn)動(dòng)控制，注重科技創(chuàng)新。Aerotech是全球領(lǐng)先的的運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)及高精度的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)供應(yīng)商，其為各行業(yè)的用戶提供完善的運(yùn)動(dòng)控制解決方案。

Aerotech公司的產(chǎn)品包括：控制軟件、驅(qū)動(dòng)器、運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，納米級(jí)定位平臺(tái)，激光掃描振鏡等一系列運(yùn)動(dòng)控制產(chǎn)品及解決方案。Aerotech公司的產(chǎn)品及方案廣泛地應(yīng)用于各個(gè)行業(yè)：醫(yī)療器械、生命科學(xué)、半導(dǎo)體和集成電路、激光加工、光電、自動(dòng)化、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、航天航空、電子制造和測(cè)試、高校科研等有高精度高穩(wěn)定性要求的眾多行業(yè)。

演講主題：用于激光微加工的高性能運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)

演講摘要：

主要介紹ACS針對(duì)激光微加工行業(yè)，提供了哪些產(chǎn)品和解決方案：
1）產(chǎn)品：介紹ACS的產(chǎn)品架構(gòu)和特點(diǎn)，如何勝任精密激光加工領(lǐng)域?qū)\(yùn)動(dòng)控制及伺服的高要求。介紹新產(chǎn) 品LCI（激光控制接口）的特性及功能。
2）方案：介紹固定光路的激光加工方案和XLSCAN振鏡聯(lián)動(dòng)的解決方案。
3）上位機(jī)軟件：可以提供給終端用戶直接使用的標(biāo)準(zhǔn)CAD/CAM上位軟件SPC，可以配合激光振鏡聯(lián)動(dòng)系 統(tǒng)使用，大幅降低設(shè)備的開發(fā)周期。
4）算法：介紹新的控制算法和伺服算法，助力激光精密加工。

嘉賓簡(jiǎn)介：

沈凱 畢業(yè)于上海交通大學(xué)自動(dòng)化專業(yè)，工作十多年以來一直從事運(yùn)動(dòng)控制及伺服驅(qū)動(dòng)器相關(guān)的工作，先后擔(dān) 任測(cè)試工程師，伺服驅(qū)動(dòng)器產(chǎn)品經(jīng)理，技術(shù)/應(yīng)用工程師等職位，比較熟悉精密運(yùn)動(dòng)控制器及伺服驅(qū)動(dòng)器的功 能，原理及其所應(yīng)用的領(lǐng)域。

公司介紹：

自1985年以來，ACS運(yùn)動(dòng)控制一直深受原始設(shè)備制造商(OEM)的 信賴，公司服務(wù)于半導(dǎo)體、電子裝配、激光加工、平板顯示器、 生物醫(yī)學(xué)和其他高科技行業(yè)，可助力改善機(jī)器性能，提高設(shè)計(jì)靈 活性，加快應(yīng)用開發(fā)，并縮短產(chǎn)品上市時(shí)間。 ACS運(yùn)動(dòng)控制公司總部位于以色列，在美國(guó)、德國(guó)和中國(guó)設(shè)有子公司，其分銷商和合作伙伴網(wǎng)絡(luò)遍布全球，可充分滿足在全球 運(yùn)營(yíng)的OEM的需求。2017年，公司正式納入 Physik Instrumente (PI) 集團(tuán)麾下。

演講主題：超快激光器國(guó)產(chǎn)替代正當(dāng)時(shí)

演講摘要：

本演講從目前超快激光器（皮秒/飛秒）國(guó)產(chǎn)化大背景、工業(yè)超快激光器的應(yīng)用需求及國(guó)產(chǎn)超快激光器技 術(shù)發(fā)展基礎(chǔ)等方面，分析超快激光器國(guó)產(chǎn)化替代過程中遇到的機(jī)遇及挑戰(zhàn)，總結(jié)在超快激光器應(yīng)用進(jìn)程 中，國(guó)產(chǎn)激光器技術(shù)發(fā)展及應(yīng)用取得的成績(jī)。從超快激光器技術(shù)發(fā)展路線，分析不同技術(shù)路線優(yōu)缺點(diǎn)，為 超快激光器國(guó)產(chǎn)化提供建議。演講最后，介紹貝林激光器在國(guó)產(chǎn)化替代過程中積累起來的超快激光器技術(shù) 成果。

嘉賓簡(jiǎn)介：

李立衛(wèi) 15年以上激光器研發(fā)及項(xiàng)目管理經(jīng)驗(yàn)。從業(yè)至今，帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)完成>40種固體激光器的研制，涉及紅外、綠光及紫外納秒激光器、皮秒激光器、飛秒激光器等，開發(fā)激光器產(chǎn)品銷售目前已超過8000臺(tái)，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體，消費(fèi)電子，顯示等先進(jìn)制造領(lǐng)域。
2007-2016年 蘇州德龍激光股份有限公司 激光器事業(yè)部部長(zhǎng)
2016年至今 蘇州貝林激光有限公司 CTO

公司介紹：

蘇州貝林激光有限公司成立于2007年，致力于研發(fā)、生產(chǎn)、銷售各類工業(yè)級(jí)固體激光器及超短脈沖激光器，產(chǎn) 品主要由納秒激光器、皮秒激光器和飛秒激光器三大系列，產(chǎn)品得到了客戶和市場(chǎng)好評(píng)，并遠(yuǎn)銷美國(guó)、歐洲、 日本、韓國(guó)……

演講主題：超快激光應(yīng)用淺析

演講摘要：

本報(bào)告旨在和大家分享一下超快激光器主要參數(shù)和加工效果之間的關(guān)系，如：功率和能量在應(yīng)用中發(fā)揮的 是什么作用；POD，PSO和FT是什么，各自有什么優(yōu)勢(shì)；gate，trig的響應(yīng)時(shí)序圖和應(yīng)用中的差別；光束質(zhì) 量有哪些參數(shù)描述，它們?cè)趹?yīng)用中表現(xiàn)等。同時(shí)，報(bào)告過程中會(huì)輔以加工工藝的一些案例和大家討論。

嘉賓簡(jiǎn)介：

王鐵男 天津凱普林激光科技有限公司副總經(jīng)理，工程技術(shù)總監(jiān)，超快激光器系統(tǒng)架構(gòu)設(shè)計(jì)師，電子電氣工程 師，多年來一直堅(jiān)守超快激光器研發(fā)應(yīng)用第一線，積累了一定的經(jīng)驗(yàn)。

公司介紹：

凱普林光電成立于2003年，是面向全球的激光解決方案服務(wù)商。公司以“讓夢(mèng)想馭光而行”為使命，以“創(chuàng)變 非凡”為價(jià)值觀，致力于創(chuàng)造更好的激光產(chǎn)品，為全球客戶提供半導(dǎo)體激光器、光纖激光器、超快激光器產(chǎn)品 及解決方案。截至目前，全球超過1000萬只凱普林激光器在線穩(wěn)定運(yùn)行，遍布全球70多個(gè)國(guó)家和地區(qū)。

演講主題：激光精密打標(biāo)在半導(dǎo)體芯片及器件中的應(yīng)用

演講摘要：

從晶圓生產(chǎn)和芯片封測(cè)兩個(gè)領(lǐng)域的應(yīng)用、市場(chǎng)前景、國(guó)內(nèi)外競(jìng)爭(zhēng)格局三個(gè)方面介紹半導(dǎo)體芯片及器件的標(biāo) 識(shí)相關(guān)的激光精密標(biāo)刻設(shè)備。以JPT HM110FFH 半導(dǎo)體激光打標(biāo)機(jī)為例，介紹激光打標(biāo)設(shè)備的主要模塊、 工作原理，打標(biāo)能力，精度范圍，解決行業(yè)痛點(diǎn)等問題。

嘉賓簡(jiǎn)介：

朱良琴 杰普特智能裝備部激光工藝主管。激光與光電工程專業(yè)研究生，具有多年激光精密加工的經(jīng)驗(yàn)。

公司介紹：

深圳市杰普特光電股份有限公司(股票代碼：688025)成立于2006年，是一家集研發(fā)、生產(chǎn)和銷售激光器、激 光/光學(xué)智能裝備和光纖器件于一體的國(guó)家級(jí)高新技術(shù)企業(yè)。經(jīng)過多年發(fā)展，公司搭建了國(guó)際化的研發(fā)、營(yíng)銷 平臺(tái)，產(chǎn)品和服務(wù)覆蓋全球。公司以激光核心技術(shù)為基礎(chǔ)，打造激光與光學(xué)、測(cè)試與測(cè)量、運(yùn)動(dòng)控制與自動(dòng) 化、機(jī)器視覺等技術(shù)平臺(tái)，持續(xù)為客戶創(chuàng)造價(jià)值。

演講主題：Trends 大功率半導(dǎo)體激光芯片組裝技術(shù)及發(fā)展趨勢(shì)探討

演講摘要：

高功率半導(dǎo)體激光器是當(dāng)今增長(zhǎng)最快的激光器細(xì)分市場(chǎng)之一，其主要驅(qū)動(dòng)力來自顯示器、傳感、醫(yī)療和照 明等多種新興應(yīng)用市場(chǎng)的增長(zhǎng)。材料加工市場(chǎng)仍然保持著旺盛的需求。高功率激光芯片組裝是影響激光器 性能、可靠性和成本的關(guān)鍵工序。在本次演講中，MRSI將討論高功率激光模具/芯片組裝中的關(guān)鍵技術(shù)挑 戰(zhàn)，并通過一些高功率二極管激光模具/芯片組裝結(jié)果介紹MRSI關(guān)鍵技術(shù)以應(yīng)對(duì)這些挑戰(zhàn)。本次演講還將 討論一些用于大功率半導(dǎo)體激光器組裝的潛在新材料和新技術(shù)。

嘉賓簡(jiǎn)介：

蔡偉軍 本科學(xué)歷，2003年開始從事激光相關(guān)工作。曾任職于LPKF、GSI集團(tuán)激光部、通快等公司，從事激光 應(yīng)用及銷售工作。對(duì)PCB、消費(fèi)電子、汽車零部件等領(lǐng)域相關(guān)的激光應(yīng)用比較熟悉?，F(xiàn)就職于奧創(chuàng)光子，任銷 售總監(jiān)。

公司介紹：

Mycronic AB是一家在納斯達(dá)克斯德哥爾摩上市從事生產(chǎn)設(shè)備開發(fā)、制造和銷售的瑞典高科技公司，滿足電子 行業(yè)高精度和靈活性的要求。Mycronic集團(tuán)旗下的MRSI SYSTEMS是全自動(dòng)、高速、高精度、靈活多功能的貼 片系統(tǒng)的全球領(lǐng)先制造商，為所有級(jí)別的封裝提供最有效的系統(tǒng)和組裝解決方案。邁銳斯自動(dòng)化（深圳）有限 公司是瑞典Mycronic AB在中國(guó)注冊(cè)的獨(dú)資子公司，是MRSI SYSTEMS在中國(guó)地區(qū)業(yè)務(wù)本地化的戰(zhàn)略舉措，公 司與MRSI深圳產(chǎn)品演示中心合址，并使用MRSI品牌。邁銳斯除延續(xù)MRSI在中國(guó)地區(qū)的業(yè)務(wù)，也將進(jìn)行本土 化的應(yīng)用產(chǎn)品開發(fā)，為客戶提供更多的封裝應(yīng)用解決方案與更優(yōu)質(zhì)的服務(wù)。

演講主題：超短脈沖激光在泛半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用析

演講摘要：

主要介紹超短脈沖激光器在半導(dǎo)體及先進(jìn)顯示、光伏行業(yè)的應(yīng)用。

嘉賓簡(jiǎn)介：

周利民博士，MRSI SYSTEMS（Mycronic 集團(tuán)）戰(zhàn)略營(yíng)銷高級(jí)總監(jiān)兼邁銳斯自動(dòng)化（深圳）有限公司總經(jīng) 理。在2019年加入公司之前，他曾擔(dān)任新飛通中國(guó)的高級(jí)研發(fā)總監(jiān)、奧蘭若亞洲新產(chǎn)品導(dǎo)入和產(chǎn)品工程總監(jiān)、 JDSU和SAMN-SCI中國(guó)新產(chǎn)品導(dǎo)入運(yùn)營(yíng)總監(jiān)。他曾在一家激光芯片初創(chuàng)公司擔(dān)任聯(lián)合創(chuàng)始人。他的職業(yè)生涯始 于新加坡特許半導(dǎo)體公司（現(xiàn)在的格芯半導(dǎo)體）擔(dān)任光刻高級(jí)工藝工程師。

公司介紹：

杭州奧創(chuàng)光子技術(shù)有限公司成立于2018年6月，公司主要從事工業(yè)高功率飛秒激光器及其核心器件的研發(fā)、生 產(chǎn)、銷售與應(yīng)用。
公司技術(shù)團(tuán)隊(duì)由中科院西安光學(xué)精密機(jī)械研究所國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室核心隊(duì)伍及海歸超快激光器工程化專家共同組 成，是目前國(guó)內(nèi)超快激光領(lǐng)域較為完善研發(fā)生產(chǎn)團(tuán)隊(duì)。經(jīng)過多年的核心器件布局與商業(yè)化運(yùn)作，已實(shí)現(xiàn)飛秒激 光器量產(chǎn)。

演講主題：激光技術(shù)在半導(dǎo)體制程中的應(yīng)用

演講摘要：

1、半導(dǎo)體制程中的激光應(yīng)用
2、一種新型的激光加工方式
3、公司簡(jiǎn)介

嘉賓簡(jiǎn)介：

周洪江 無錫先導(dǎo)智能裝備股份有限公司激光精密加工事業(yè)部（光導(dǎo)科技）營(yíng)銷中心總經(jīng)理。 2年研發(fā)經(jīng)歷，10余年激光領(lǐng)域市場(chǎng)銷售及管理經(jīng)驗(yàn)，長(zhǎng)期負(fù)責(zé)顯示，半導(dǎo)體等市場(chǎng)開發(fā)，管理，運(yùn)營(yíng)等工 作，2019加入先導(dǎo)集團(tuán)激光事業(yè)部，任事業(yè)部營(yíng)銷中心，總經(jīng)理。

公司介紹：

無錫光導(dǎo)精密科技有限公司是一家在全球范圍內(nèi)提供激光裝備和快速服務(wù)支持的創(chuàng)新型科技企業(yè)(隸屬于無錫 先導(dǎo)集團(tuán))。布局激光全產(chǎn)業(yè)鏈，以高精度數(shù)控系統(tǒng)為核心，依靠業(yè)界領(lǐng)先的激光技術(shù)和研發(fā)、生產(chǎn)能力，為 各行業(yè)龍頭企業(yè)客戶提供激光智能制造整體解決方案，已廣泛應(yīng)用于消費(fèi)電子、面板、Mini/Micro-LED、半導(dǎo) 體、汽車、鋰電、光伏等行業(yè)。

特邀演講：整形飛秒脈沖加工半導(dǎo)體材料

演講摘要：

飛秒激光加工屬于先進(jìn)激光制造技術(shù)的范疇。使用超短脈沖激光制造有望突破一些重要半導(dǎo)體材料的關(guān)鍵 技術(shù)問題，并開發(fā)出相應(yīng)的技術(shù)和裝備。主要介紹我們課題組用飛秒激光在硅片、SiC、ZnO和紅外半導(dǎo)體 上進(jìn)行加工、結(jié)構(gòu)改性的研究成果。半導(dǎo)體材料表面的自組織周期結(jié)構(gòu)，具有親疏水、選擇性吸收/反射的 特點(diǎn)，通過調(diào)控脈沖的基本參數(shù)和光路，可以對(duì)誘導(dǎo)的LIPSS結(jié)構(gòu)的周期、取向、深度進(jìn)行調(diào)節(jié)。此外， 利用單光束時(shí)空整形技術(shù)或雙光束飛秒脈沖組合，能對(duì)輻照時(shí)產(chǎn)生的載流子濃度進(jìn)行超快調(diào)控，從而能改 善結(jié)構(gòu)形貌、提升形成效率，有助于相關(guān)技術(shù)發(fā)展。

嘉賓簡(jiǎn)介：

上海大學(xué)教授，博士生導(dǎo)師。長(zhǎng)期從事于超快激光微納加工、先進(jìn)激光制造技術(shù)的研究，包括飛秒激光在透明 材料內(nèi)部誘導(dǎo)非線性晶體和納米顆粒的析出機(jī)制，飛秒激光在玻璃內(nèi)部直寫納米光柵的機(jī)制以及超快整形激光 制造功能性光子學(xué)器件等。主持國(guó)家自然科學(xué)基金和上海市科委等項(xiàng)目，以第一/通訊作者發(fā)表論文50余篇， 申請(qǐng)專利5項(xiàng)。

公司介紹：

上海大學(xué)是上海市屬、國(guó)家“211工程”重點(diǎn)建設(shè)的綜合性大學(xué)，是教育部與上海市人民政府共建高校，上海 市首批高水平地方高校建設(shè)試點(diǎn)，國(guó)家“雙一流”建設(shè)高校。