作者：Greta

圖：Manz集團(tuán)首席執(zhí)行官兼創(chuàng)始人Dieter Manz先生

為滿(mǎn)足全球市場(chǎng)對(duì)高效率、低成本太陽(yáng)能電池激增的需求，Manz亞智科技在第八屆上海國(guó)際太陽(yáng)能光伏展（SNEC2014）期間推出了轉(zhuǎn)換率高達(dá)20.5%的晶硅太陽(yáng)能電池生產(chǎn)解決方案，成功優(yōu)化了晶硅太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)技術(shù)。

Manz新一代生產(chǎn)工藝采用VCS 1200電漿輔助化學(xué)氣相沉積(PECVD)垂直式真空鍍膜系統(tǒng)，在電池背面沉積氧化鋁鈍化層，結(jié)合Manz LAS 2400激光開(kāi)孔技術(shù)，可幫助電池生產(chǎn)企業(yè)在實(shí)現(xiàn)高效晶硅太陽(yáng)能電池規(guī)�；�生產(chǎn)的同時(shí)，將成本降至最低。與市場(chǎng)同類(lèi)系統(tǒng)相比，Manz易于維護(hù)的全自動(dòng)化設(shè)備體積更小、效率更高，適用于單晶硅和多晶硅太陽(yáng)能電池生產(chǎn)。Manz可為客戶(hù)提供必要的生產(chǎn)設(shè)備和工藝技術(shù)，幫助其升級(jí)標(biāo)準(zhǔn)電池生產(chǎn)線(xiàn)，生產(chǎn)更高效的PERC電池。

Manz VCS 1200系統(tǒng)采用全新的垂直式工藝技術(shù)，產(chǎn)量高達(dá)每小時(shí)1,200個(gè)硅片。由于配備高效能電漿和新式載具系統(tǒng)，該鍍膜工藝不會(huì)在硅片上留下任何針印或未鍍區(qū)，這一技術(shù)優(yōu)勢(shì)正是其他許多同類(lèi)廠商的所不具備的。此外，VCS 1200系統(tǒng)使得PECVD層可以實(shí)現(xiàn)單面沉積，而不會(huì)出現(xiàn)另一面也有邊緣沉積的情況。

與VCS 1200系統(tǒng)一起推出的還有Manz LAS 2400激光開(kāi)孔系統(tǒng)。該系統(tǒng)可用于背面鈍化層的局部電極開(kāi)孔，是一款操作簡(jiǎn)單、高精度、高產(chǎn)出的解決方案。Manz激光開(kāi)孔技術(shù)為一站式工藝，不僅在這一電池生產(chǎn)流程保證了最低擁有成本，還實(shí)現(xiàn)了硅片的安全處理，將破片率降至業(yè)界最低。LAS 2400系統(tǒng)采用模塊化、小體積設(shè)計(jì)，非常適宜現(xiàn)有生產(chǎn)線(xiàn)的升級(jí)。該系統(tǒng)每小時(shí)總產(chǎn)量為2,400個(gè)硅片，開(kāi)孔寬度為30~100µm。Manz晶硅太陽(yáng)能電池生產(chǎn)解決方案結(jié)合了VCS1200及LAS2400的所有優(yōu)勢(shì)，能將PERC太陽(yáng)能電池的效率提升至20.5%。

此外，Manz還提供了業(yè)界領(lǐng)先的濕化學(xué)處理工具IPSG CEI 4800，可與VCS 1200和LAS 2400生產(chǎn)工具配備形成一套完善的技術(shù)解決方案。IPSG CEI 4800主要用于去除硅片背面及邊緣的重?fù)诫s層，從而形成化學(xué)除邊（CEI）。并在接下來(lái)的流程中，去除在之前擴(kuò)散過(guò)程中殘留在硅片正面的磷硅玻璃（PSG）層。由于應(yīng)用了柔軟的海綿輥和最小化基板壓力的概念，IPSG CEI 4800可實(shí)現(xiàn)最低破片率。

在新聞發(fā)布會(huì)上，Manz 集團(tuán)首席執(zhí)行官兼創(chuàng)始人Dieter Manz表示：“在光伏產(chǎn)業(yè)，Manz專(zhuān)注于晶硅太陽(yáng)能電池和薄膜太陽(yáng)能模塊的生產(chǎn)工藝和解決方案。在晶硅領(lǐng)域，Manz可提供金屬化、激光加工、濕化學(xué)處理以及真空鍍膜相關(guān)的生產(chǎn)工藝和設(shè)備，同時(shí)還可提供自動(dòng)化解決方案以及測(cè)試與檢驗(yàn)方面的專(zhuān)業(yè)知識(shí)。”

Dieter Manz先生最后表示，目前電池廠家的生產(chǎn)解決方案都應(yīng)從效率、成本、安全等因素來(lái)滿(mǎn)足客戶(hù)需求。Manz亞智科技在這方面也卓有成效。在未來(lái)兩三年，Manz的策略就是要在中國(guó)建立自己的工程部門(mén)。“以前的設(shè)備開(kāi)發(fā)是由德國(guó)來(lái)做，因此我們?cè)诎盐毡就潦袌?chǎng)和客戶(hù)需求的敏銳度方面有待提高。” Dieter Manz說(shuō)道，“其實(shí)在德國(guó)做開(kāi)發(fā)，時(shí)間、設(shè)備、材料等很多東西在德國(guó)就已經(jīng)定型了，本土化生產(chǎn)時(shí)，成本降低不會(huì)太多，這樣就不能夠適應(yīng)市場(chǎng)未來(lái)競(jìng)爭(zhēng)的需要。因此，我們希望未來(lái)會(huì)在中國(guó)設(shè)立自己的工程部門(mén)，讓我們?cè)谧畛踽槍?duì)客戶(hù)需求而設(shè)計(jì)的時(shí)候，就已經(jīng)考慮到中國(guó)生產(chǎn)的可能性，更大幅度地降低成本，這是我們未來(lái)的一項(xiàng)策略。”