龍門(mén)架是一種機(jī)械結(jié)構(gòu)類(lèi)型，它將兩個(gè)物理軸耦合在一起，并使其在同一方向上運(yùn)動(dòng)。其廣泛應(yīng)用于激光微加工、平板顯示器制造、PCB 板印刷、點(diǎn)膠和打孔、 晶圓檢驗(yàn)計(jì)量、薄膜測(cè)量、激光直寫(xiě)、晶圓級(jí)封裝以及 Micro-LED 巨量轉(zhuǎn)移等領(lǐng) 域。本文介紹了 AEROTECH 公司 AUTOMATION1 控制器的龍門(mén)解耦和電流命 令耦合控制原理，展示其在控制氣浮剛性龍門(mén)平臺(tái)時(shí)的靜態(tài)位置抖動(dòng)和動(dòng)態(tài)性能 等指示，并介紹如何利用 AEROTECH 公司 AUTOMATION 1 Studio 的調(diào)諧工 具來(lái)測(cè)量和優(yōu)化軸的頻率響應(yīng)，增強(qiáng)位置跟蹤控制算法（ETC）如何提運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)在動(dòng)態(tài)跟隨誤差以及移動(dòng) & 穩(wěn)態(tài)時(shí)間等方面的性能。