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| 超快激光直寫在玻璃微加工中的應(yīng)用
譚德志 - 之江實(shí)驗(yàn)室 - 研究員/PI
主要研究方向：超快激光制造、光電材料與器件。以第一 / 通訊作者在 Science、Light Sci. Appl.、Adv. Photonics 等期刊發(fā)表論文 30余篇。成果在 Science 封面及亮點(diǎn)板塊被重點(diǎn)介紹，被 Phys.org、中國科學(xué)報(bào)、科技日報(bào)等國內(nèi)外知名學(xué)術(shù)媒體專題報(bào)道。擔(dān)任 Science合作期刊 Ultrafast Science、中國激光雜志社、《硅酸鹽通報(bào)》等的青年編委。主持國家基金委基金、科技部重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃項(xiàng)目子課題并負(fù)責(zé)了多項(xiàng)企業(yè)委托研發(fā)項(xiàng)目等。
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演講摘要： 玻璃是一種廣泛使用的工業(yè)材料。通過超快激光直寫技術(shù)，能在玻璃內(nèi)加工出各種特征結(jié)構(gòu)，它們在當(dāng)下發(fā)展火熱的micro-LED、3D顯示以及光存儲、光互連和光計(jì)算方面，有著廣泛的應(yīng)用潛力。 |
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| 運(yùn)動控制在激光微加工中的應(yīng)用
謝香林 - 艾羅德克運(yùn)動控制技術(shù)(上海)有限公司
高級銷售工程師
謝香林，Aerotech 中國資深銷售工程師，業(yè)務(wù)范圍涵蓋激光、醫(yī)療、電子、精密制造、數(shù)據(jù)存儲等行業(yè)方向。從事激光微加工行業(yè) 12 年，具有深厚的精密激光微加工領(lǐng)域技術(shù)工藝、系統(tǒng)集成、設(shè)備開發(fā)的經(jīng)驗(yàn)及技術(shù)積累。愿同大家一起分享和探討激光微加工領(lǐng)域遇到的控制方面及工藝方面的技術(shù)及問題。
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演講摘要： 作為業(yè)內(nèi)領(lǐng)先的運(yùn)動控制品牌，Aerotech 始終專注于精密運(yùn)動科學(xué) (Dedicated to Science of Motion)。我們提供的高性能運(yùn)動控制器及精密運(yùn)動平臺，廣泛應(yīng)用于各個(gè)行業(yè)。本次演講將結(jié)合激光微加工應(yīng)用介紹 Aerotech 控制器及相關(guān)機(jī)電產(chǎn)品使用案例及特點(diǎn)，簡要介紹 Aaerotech 新的運(yùn)動控制平臺 Automation1 控制系統(tǒng)。 |
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| 飛秒激光用于玻璃、碳化硅半導(dǎo)體等非金屬材料的微納焊接
程光華 - 西北工業(yè)大學(xué) - 教授
曾任中國科學(xué)院西安光學(xué)精密機(jī)械研究所、現(xiàn)任西北工業(yè)大學(xué)教授、
法國國家科學(xué)研究中心休伯特居里實(shí)驗(yàn)室客座教授；獲陜西省青年
科技新星稱號，獲陜西科學(xué)技術(shù)一等獎(jiǎng)兩項(xiàng)；加拿大自然科學(xué)與工
程基金通訊評議人、科技部“增材制造與激光制造”重點(diǎn)專項(xiàng)項(xiàng)目評
審專家、國家自然科學(xué)基金評審專家、科技部重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃項(xiàng)目評審
專 家；《中 國 光 學(xué)》編 委、《International Journal of Extreme
Manufacturing （IJEM）》青 年 編 委、Co-chair of International
Symposium on Laser Precision Microfabrication (LPM 2016)；
主要從事超短脈沖激光技術(shù)，激光與物質(zhì)介質(zhì)相互作用機(jī)理和應(yīng)用
研究。承擔(dān)了科技部國家重大儀器開發(fā)專項(xiàng)、國家基金儀器專項(xiàng)、國
家基金重點(diǎn)項(xiàng)目、科技部國家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃等課題多項(xiàng)。發(fā)表學(xué)術(shù)論
文二百余篇，授權(quán)國家發(fā)明專利二十余項(xiàng)。
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演講摘要： 超快貝塞爾光束的特征是能在透明介質(zhì)內(nèi)實(shí)現(xiàn)精度高達(dá)幾十納米的維納級加工。
這一特性能成功實(shí)現(xiàn)玻璃焊接、石英玻璃與碳化硅半導(dǎo)體之間的焊接、納米材料焊接、甚至是玻璃與金屬之間的精密焊接等尖端應(yīng)用。 |
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| 持續(xù)創(chuàng)新的通快超短脈沖技術(shù)
為先進(jìn)制造提供更多可能
張潮 - 通快(中國)有限公司 - 行業(yè)與產(chǎn)品管理主管
張潮先生現(xiàn)任通快（中國）有限公司行業(yè)與產(chǎn)品管理主管，主要負(fù)責(zé)短脈沖及超短脈沖激光器產(chǎn)品管理及電子行業(yè)市場開發(fā)工作。他在工業(yè)脈沖激光領(lǐng)域擁有豐富的經(jīng)驗(yàn)，在過去的八年中，他所負(fù)責(zé)的項(xiàng)目涉及先進(jìn)顯示、半導(dǎo)體、3C 電子、汽車電子等行業(yè)，推動實(shí)現(xiàn)了多項(xiàng)短脈沖及超短脈沖激光技術(shù)在高分子薄膜、硬脆材料加工、金屬微加工、涂層去除等工業(yè)量產(chǎn)中的應(yīng)用。
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演講摘要： 近年來，超短脈沖激光技術(shù)在先進(jìn)制造領(lǐng)域迎來了爆發(fā)式發(fā)展。而隨著 5G, VR/AR 顯示、柔性顯示等新技術(shù)的不斷成熟，高端精密制造對于材料加工提出了越來越高的要求。通快公司作為工業(yè)超快激光技術(shù)的全球領(lǐng)導(dǎo)者，持續(xù)加大在新型超快激光技術(shù)的產(chǎn)品研發(fā)與應(yīng)用研究力度。本次分享中，通快公司將帶來最新的深紫外超快激光技術(shù)、革命性的可自由傳輸超快光束的中空光纖、超高功率的飛秒紫外激光技術(shù)相關(guān)的產(chǎn)品，及相關(guān)先進(jìn)顯示、新一代 PCB/FPC 加工、超薄玻璃（UTG）等工業(yè)應(yīng)用分享。 |
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| 硅晶圓軟標(biāo)識工藝的研究
張玲玲 - 上海市激光技術(shù)研究所 - 副總工程師
張玲玲，博士，高級工程師，現(xiàn)任上海激光直接物標(biāo)溯源工程技術(shù)研
究中心主任、上海市激光技術(shù)研究所副總工程師。有快將近 20 年的
激光器件、激光加工工藝和設(shè)備，以及激光光譜醫(yī)療檢測的研究從業(yè)
經(jīng)歷，近年來聚焦于半導(dǎo)體，玻璃等硬脆材料的激光精細(xì)加工和加工
過程的實(shí)時(shí)監(jiān)測，并先后獲得多項(xiàng)發(fā)明和實(shí)用新型專利，曾在
《Journal of Modern Optics》，中國激光光，SPIE 等期刊發(fā)表多篇學(xué)
術(shù)論文。
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演講摘要： 直接零件標(biāo)識（DPM）是一種可助力產(chǎn)品制造流程的轉(zhuǎn)變，實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品成本、質(zhì)量、性能改變的一種先進(jìn)
技術(shù)。激光直接物標(biāo)溯源技術(shù)利用先進(jìn)的激光打標(biāo)技術(shù)，推動二維碼和 DPM 技術(shù)的進(jìn)一步融合，保
證產(chǎn)品在整個(gè)生命周期均具有可追溯性，大大擴(kuò)展了 DPM 溯源技術(shù)的應(yīng)用領(lǐng)域。激光標(biāo)識以其非接
觸，高精細(xì)等優(yōu)點(diǎn)，作為一種先進(jìn)的生產(chǎn)管理和溯源跟蹤手段，在半導(dǎo)體電子行業(yè)中成為一道不可或
缺的工藝，成為復(fù)雜加工流程中實(shí)現(xiàn)出眾跟蹤和控制能力的基礎(chǔ)。本次演講分享上海激光技術(shù)研究
所團(tuán)隊(duì)基于激光和硅材料的相互作用機(jī)理，聚焦于行業(yè)規(guī)范對標(biāo)識的潔凈度、深度、飛濺、碎屑以及
精細(xì)度的嚴(yán)苛要求，探索解決由于硅材料對激光的敏感性，而造成標(biāo)識外觀、一致性，以及標(biāo)識深度
的控制等一系列問題，形成了符合 SEMI 要求的穩(wěn)定的、可用于生產(chǎn)的激光軟標(biāo)識硅晶圓的工藝。 |
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