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紫外激光器

相干面向大批量微加工應用的130W 紫外激光器

材料來源：Coherent 錄入時間：2011-7-5 9:38:19

相干公司的LEAP準分子激光器系列工作在248nm和308nm波長時，平均輸出功率可達130W，連續(xù)免維護運轉(zhuǎn)超過3億個脈沖或5000小時的過程中，始終保持卓越的光束質(zhì)量和無以倫比的輸出能量穩(wěn)定性（典型值為0.5 %, rms）。LEAP準分子激光器系列高端的、適用于大批量生產(chǎn)的特性源于最新的半導體開關管技術的應用，在數(shù)十億激光脈沖的運行中，可獲得顯著平滑、有效的氣體放電，從而使生產(chǎn)商在大批量生產(chǎn)過程中獲得最高的生產(chǎn)效率。LEAP是通過脈沖激光沉積的方法獲得超導陶瓷薄膜、快速金屬和聚合物處理以及垂直結(jié)構(gòu)高亮度LED有效激光剝離處理的有力激光工具。

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