超快激光是激光技術(shù)領(lǐng)域的重要研究方向之一。目前超快激光作為先進(jìn)制造業(yè)中理想加工利器，在半導(dǎo)體晶圓加工、太陽(yáng)能電池劃片、新能源電池極片切割等眾多智能制造領(lǐng)域發(fā)揮著至關(guān)重要作用。在技術(shù)創(chuàng)新和應(yīng)用拓展雙重加持下，投身超快激光器的企業(yè)隊(duì)伍也日益壯大。

薄片超快激光器是一種基于薄片式增益介質(zhì)設(shè)計(jì)的高性能激光器，其核心特點(diǎn)在于獨(dú)特的薄片狀晶體結(jié)構(gòu)（通常厚度為100-200微米）。薄片再生放大激光腔元器件多，腔長(zhǎng)通常在2米以上，需很多光學(xué)鏡片壓縮激光器尺寸，解決大量工程技術(shù)難題。

相較于傳統(tǒng)固體激光器，其優(yōu)勢(shì)顯著：首先，薄片結(jié)構(gòu)通過(guò)表面冷卻技術(shù)大幅提升散熱效率，有效抑制熱透鏡效應(yīng)，從而保障高功率輸出下的光束質(zhì)量（M²<1.2），這是實(shí)現(xiàn)精密加工的關(guān)鍵；其次，增益介質(zhì)在泵浦光多次穿透下實(shí)現(xiàn)均勻能量分布，兼具高峰值功率（GW級(jí)）和高重復(fù)頻率（MHz級(jí)），在微納加工中能實(shí)現(xiàn)“冷加工”效果；此外，模塊化設(shè)計(jì)使其功率可擴(kuò)展至千瓦級(jí)別，同時(shí)保持優(yōu)異的光斑穩(wěn)定性。這些特性使其在精密制造領(lǐng)域優(yōu)勢(shì)明顯，為強(qiáng)場(chǎng)物理、阿秒科學(xué)等前沿研究提供了理想光源。

提供技術(shù)設(shè)備，助力成果轉(zhuǎn)化

誠(chéng)鐿系列薄片超快激光器

一般來(lái)說(shuō)，激光運(yùn)轉(zhuǎn)方式是激光器的技術(shù)核心，按運(yùn)轉(zhuǎn)方式主要可分為連續(xù)激光器和脈沖激光器，超快激光器是超短脈沖激光器。近年來(lái)，大族激光摻鐿固體激光器項(xiàng)目中心聚焦摻鐿晶體再生放大技術(shù)與開(kāi)發(fā)，致力于成為高端超快激光器的引領(lǐng)者。

面對(duì)潛力巨大、需求升級(jí)的激光應(yīng)用市場(chǎng)，摻鐿固體激光器項(xiàng)目中心積極推出SINCERITY誠(chéng)鐿系列薄片超快激光器，助力客戶規(guī)�；�及定制化生產(chǎn)。此系列產(chǎn)品基于再生放大技術(shù)的摻鐿晶體超快激光器，再生放大技術(shù)是產(chǎn)生超短脈寬、高穩(wěn)定性、大能量、高平均功率的首選方案，憑借卓越的產(chǎn)品性能和前瞻的技術(shù)視野，在高端應(yīng)用方面非常有潛力。

摻鐿晶體超快激光器具有高平均輸出功率、高脈沖能量和窄脈寬等特點(diǎn)；光束質(zhì)量?jī)?yōu)異，穩(wěn)定性高，指向性好，激光譜線窄，有利于高效諧波產(chǎn)生，可做二倍頻、三倍頻。有三種波長(zhǎng)（1030nm、515nm、343nm）可選，適合半導(dǎo)體材料、硬脆材料、金屬合金、光伏組件等高端微加工應(yīng)用。

1 產(chǎn)品特點(diǎn)

• 模塊化設(shè)計(jì)
• 超短脈沖輸出（＜8ps）
• 高功率（紅外＞300W/綠光＞150W/紫外＞80W）
• 脈沖、功率穩(wěn)定性高
• 光束質(zhì)量好M²＜1.2

2 產(chǎn)品高端應(yīng)用

薄片金屬切割-心血管支架切割

FPC、PCB、PCBA、SIP切割挖槽

□ DBC陶瓷覆銅板切割

▲氮化硅陶瓷，陶瓷厚度0.32mm

▲工藝效果

□ 光伏-太陽(yáng)能BC電池片激光開(kāi)模

□ 光伏-鈣鈦礦P1-P5激光劃線

3 產(chǎn)品參數(shù)

SINCERITY誠(chéng)鐿系列薄片超快激光器擁有多項(xiàng)發(fā)明專利證書、實(shí)用新型專利證書，并取得廣東省科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)、中國(guó)電子學(xué)會(huì)科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)、“2024年激光金耀獎(jiǎng)”新產(chǎn)品獎(jiǎng)、2024“紅光獎(jiǎng)”激光行業(yè)創(chuàng)新突破獎(jiǎng)等榮譽(yù)。

目前，國(guó)產(chǎn)激光器已在中低端激光器市場(chǎng)占據(jù)了主導(dǎo)地位，憑借產(chǎn)品的硬實(shí)力，大族激光也在不斷攻克高功率薄片超快激光的關(guān)鍵技術(shù)難題，積極拓寬市場(chǎng)版圖，打破了進(jìn)口薄片激光器壟斷局面，助力填補(bǔ)國(guó)內(nèi)薄片超快激光器市場(chǎng)空白。

轉(zhuǎn)自：大族激光

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