近日，中科微精在超快激光三維雕銑技術(shù)方面取得階段性重大突破。該公司攻克硬脆材料薄壁球殼復(fù)雜三維結(jié)構(gòu)件超精密加工技術(shù)難題，可實現(xiàn)石英半球諧振子無熱應(yīng)力、無微裂紋加工，所加工的石英半球諧振子形位公差≤2μm、粗糙度Ra≤0.13μm、拋光粗糙度達到Ra≤0.04μm。該技術(shù)可解決傳統(tǒng)機械加工石英半球諧振子效率低、廢品率高，產(chǎn)能低等問題，對提升我國半球諧振陀螺制造技術(shù)具有重要意義。

作為一種性能優(yōu)異的慣性導(dǎo)航儀器，半球諧振陀螺因具有高精度、高可靠性、長壽命、不受天氣和電磁干擾等優(yōu)點，廣泛應(yīng)用于航空、航天、航海、武器、運輸、導(dǎo)航等領(lǐng)域。石英半球諧振子屬硬脆薄壁球殼復(fù)雜三維結(jié)構(gòu)件，作為半球諧振陀螺的核心敏感零件，其加工精度和振動特性直接決定著半球諧振陀螺的工作性能。

目前國內(nèi)普遍采用機械方式加工石英半球陀螺，但因石英半球諧振子的異形薄殼結(jié)構(gòu)硬度大，脆性強，對內(nèi)外球面和支撐桿的形狀精度和位置精度要求很高(亞微米級)，機械加工制造方式效率低，廢品率高，加工精度難以保障。同時機械加工產(chǎn)生的應(yīng)力會對半球陀螺諧振子的性能造成很大的影響，因此市場上迫切需求創(chuàng)新石英半球諧振子制造新理論、新概念、新方法、新裝備。

中科微精運用超快激光加工的石英半球諧振子

針對上述困境，中科微精打破常規(guī)，創(chuàng)新性提出采用超短脈沖激光三維雕銑加工的方式解決這一難題，目前，通過超快激光加工石英半球諧振子在國內(nèi)尚屬首例，國際上也鮮有報道。

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