全固態(tài)千赫茲皮秒再生放大激光系統(tǒng)由于其效率高、單脈沖能量大、以及可靠性高等顯著優(yōu)點，成為微加工行業(yè)理想的加工工具，并在人造衛(wèi)星激光測距、非線性頻率變換、國防建設、科學研究等眾多領域得到越來越廣泛的應用。

半導體所全固態(tài)光源實驗室通過高功率皮秒種子激光器的研制，實現(xiàn)高效、高功率、高光束質量的皮秒種子激光輸出；通過高功率、高脈沖能量皮秒激光再生放大器的研制，實現(xiàn)了皮秒激光再生放大系統(tǒng)的整機一體化。我們采用脈沖泵浦的方式，在Nd:YAG激光再生放大器中獲得了平均功率大于1W，重復頻率為1kHz，單脈沖能量大于1mJ，波長為1064nm的高能量皮秒脈沖輸出。研制成功的皮秒激光再生放大器已經(jīng)初步應用于黑硅材料加工實驗。